[发明专利]一种PERC电池的退火处理工艺在审
| 申请号： | 201611122985.0 | 申请日： | 2016-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN106486568A | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 周子游 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/068;H01L31/0216 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008 | 代理人： | 周长清 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种PERC电池的退火处理工艺，包括以下步骤在硅片背面制备三氧化二铝薄膜，对硅片进行退火处理。本发明中通过对PERC电池中的三氧化二铝薄膜进行退火处理，降低了界面复合，提高了硅片的少子寿命，克服了现有PERC电池制备工艺中对三氧化二铝钝化效果造成的不利影响；同时将经过退火处理后的硅片制成PERC电池，光电转化效率的平均值达到了21.0％，相比常规制备工艺(无退火处理)，增加了0.2％，取得了较好的电学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 perc 电池 退火 处理 工艺 | ||
【主权项】：
一种PERC电池的退火处理工艺，其特征在于，包括以下步骤：在硅片背面制备三氧化二铝薄膜，对硅片进行退火处理。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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