[发明专利]基于折反式红外成像光学系统的装调方法

摘要

基于折反式红外成像光学系统的装调方法，涉及红外光学系统装调技术领域，解决现有的红外光学系统装调过程中单元光学元件无法定量的问题，具体装调方法如下：一、通过激光干涉仪装调所有反射镜，保证反射镜波前质量；二、采用激光跟踪仪将所有透射镜或透射镜组的空间位置进行安放；三、通过透射镜表面反射的干涉条纹精调透射镜的径向位置，消除残余位置误差；四、通过红外探测器成像结合光学系统理论设计精调透射镜或透射镜组与光轴的倾斜角度，消除残余光学像差。通过本发明所述的方法能够快速、有效和准确的实现对折反式红外成像光学系统的装调。

主权项

1.基于折反式红外成像光学系统的装调方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：步骤一、采用激光干涉仪(1)出射平行光束，将光斑均调整至第一离轴反射镜(2)、第二离轴反射镜(3)、第一平面反射镜(4)、第二平面反射镜(6)反射表面的中心；并根据激光干涉仪反馈的波前信息，将第一离轴反射镜(2)、第二离轴反射镜(3)、第一平面反射镜(4)、第二平面反射镜(6)的波前误差RMS调整至60nm‑180nm；步骤二、采用激光跟踪仪(9)对步骤一所述的第一离轴反射镜(2)、第二离轴反射镜(3)、第一平面反射镜(4)、第二平面反射镜(6)进行位置定位，并根据定位基准安装第三透射镜(8)，采用第三透射镜(8)前表面返回光束在激光干涉仪(1)上形成干涉条纹；通过调整第三透射镜(8)的径向平移将干涉条纹的中心移至激光干涉仪的靶面中心位置，消除第三透射镜(8)的径向位置误差；将红外探测器置于所述第三透射镜(8)的焦点处，以红外探测器的成像质量为标准，通过调整第三透射镜(8)与光轴的夹角消除角度倾斜误差；步骤三、采用激光跟踪仪(9)和红外探测器安装调整第二透射镜(7)，采用第二透射镜(7)前表面返回光束在激光干涉仪(1)上形成的干涉条纹，通过调整第二透射镜(7)的径向平移将干涉条纹的中心移至激光干涉仪(1)的靶面中心位置，消除第二透射镜(7)的径向位置误差；将所述红外探测器(10)放置在第二透射镜(7)和第三透射镜(8)的联合焦点处，以成像质量为标准通过调整第二透射镜(7)与光轴的夹角消除角度倾斜误差；步骤四、采用激光跟踪仪(9)和红外探测器(10)安装调整第一透射镜(5)，采用第一透射镜(5)前表面返回光束在激光干涉仪(1)上形成的干涉条纹，通过调整第一透射镜(5)的径向平移将干涉条纹的中心移至激光干涉仪(1)的靶面中心位置，消除第一透镜(5)的径向误差，将红外探测器(10)放置在系统像面处，并根据红外探测器(10)成像质量消除第一透射镜(5)的角度倾斜误差；实现折反式红外成像系统的装调；所述第一离轴反射镜(2)、第二离轴反射镜(3)、第一平面反射镜(4)、第一透射镜(5)、第二平面反射镜(6)、第二透射镜(7)和第三透射镜(8)的位置关系为：所述平行光束首先经第一离轴反射镜(2)反射到第二离轴反射镜(3)，再反射至第一平面反射镜(4)反射，透过第一透射镜(5)后经第二平面反射镜(6)反射后透过第二透射镜(7)和第三透射镜(8)，最终到达红外探测器(10)。