[发明专利]一种光阻法颗粒计数器中的高灵敏度粒径分析方法在审

专利信息
申请号: 201611117777.1 申请日: 2016-12-07
公开(公告)号: CN108169083A 公开(公告)日: 2018-06-15
发明(设计)人: 范继来;李晓旭;宋振英;周晓东;王耀祖 申请(专利权)人: 董青云
主分类号: G01N15/02 分类号: G01N15/02
代理公司: 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 代理人: 李晓光
地址: 118009 辽宁省丹*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 发明涉及一种光阻法颗粒计数器中的高灵敏度粒径分析方法,包括以下步骤:把照射到检测区的激光光斑形状改变为细狭缝型,或是在探测器前开窗为细狭缝型;通过理论模拟出当不同粒径通过狭缝检测区时,产生的遮挡信号与信号的高度有关、宽度及形状之前的关系;通过理论信号与实际测得的信号进行归一化之后的最小二乘拟合,主要拟合信号的宽度与形状来确定颗粒的大小。应用本发明方法使粒径分析结果更加准确,避免了光束截面光强不均匀造成的相同粒径颗粒的信号高度不同所产生的误差。 1
搜索关键词: 粒径分析 狭缝 颗粒计数器 高灵敏度 光阻法 激光光斑形状 最小二乘拟合 光束截面 理论模拟 粒径颗粒 遮挡信号 不均匀 归一化 检测区 探测器 光强 开窗 粒径 拟合 区时 照射 检测 应用
【主权项】:
1.一种光阻法颗粒计数器中的高灵敏度粒径分析方法,其特征在于包括以下步骤:

把照射到检测区的激光光斑形状改变为细狭缝型,或是在探测器前开窗为细狭缝型;

通过理论模拟出当不同粒径通过狭缝检测区时,产生的遮挡信号与信号的高度有关、宽度及形状之前的关系;

通过理论信号与实际测得的信号进行归一化之后的最小二乘拟合,主要拟合信号的宽度与形状来确定颗粒的大小。

2.按权利要求1所述的光阻法颗粒计数器中的高灵敏度粒径分析方法,其特征在于:模拟的条件为光束截面中光强的均匀分布,得出信号的高度和粒径成正比的结论。

3.按权利要求1所述的光阻法颗粒计数器中的高灵敏度粒径分析方法,其特征在于:检测区的细狭缝型激光光斑是在探测器前开窗为细狭缝型。

4.按权利要求3所述的光阻法颗粒计数器中的高灵敏度粒径分析方法,其特征在于:细狭缝宽为10~100微米。

5.按权利要求4所述的光阻法颗粒计数器中的高灵敏度粒径分析方法,其特征在于:细狭缝宽为35微米。

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