[发明专利]一种电穿孔电极结构的制备方法及应用有效
申请号: | 201611114099.3 | 申请日: | 2016-12-07 |
公开(公告)号: | CN106517445B | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
发明(设计)人: | 刘朝红;杜宝亮 | 申请(专利权)人: | 青岛海尔智能技术研发有限公司;海尔智家股份有限公司 |
主分类号: | C02F1/467 | 分类号: | C02F1/467;C23C28/00 |
代理公司: | 青岛联智专利商标事务所有限公司 37101 | 代理人: | 尚欣 |
地址: | 266101 *** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种电穿孔电极结构的制备方法,步骤为1)在室温下,将金属材料浸入氧化性溶液中进行氧化刻蚀;2)将氧化刻蚀后的金属材料冲洗后,放于恒温箱中进行热处理;3)将热处理后的金属材料进行纳米银溅射;4)将溅射后的电极结构进行清洗,然后于恒温箱中放置烘干,即得电穿孔电极结构。本发明克服了电穿孔技术需要高电压、成本高的技术问题,提供了一种可在低电压下实现电穿孔效应的电极结构的制备方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 穿孔 电极 结构 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
一种电穿孔电极结构的制备方法,其特征在于,步骤为1)在室温下,将金属材料浸入氧化性溶液中进行氧化刻蚀;2)将氧化刻蚀后的金属材料冲洗后,放于恒温箱中进行热处理;3)将热处理后的金属材料进行纳米银溅射;4)将溅射后的电极结构进行清洗,然后于恒温箱中放置烘干,得到电穿孔电极结构。
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