[发明专利]一种数字同轴全息显微三维工件台控制系统

摘要

本发明公开了一种数字同轴全息显微三维工件台控制系统，三维工件台控制结构由X轴电机(1)、X轴光栅尺(4)、X轴限位开关(7)、Y轴电机(2)、Y轴光栅尺(5)、Y轴限位开关(8)、Z轴电机(3)、Z轴光栅尺(6)和Z轴限位开关(9)构成。每轴电机和光栅尺构成闭环定位控制系统实现工件台的快速、精准定位，限位开关防止超出行程。步进电机驱动器和光栅尺根据精度进行设置，光栅位置实时通过USB通信传输到电脑端。MCU根据移动距离和速度，计算并设置PWM周期参数，通过五相步进电机驱动器实现对电机的高精度控制，且三轴独立可控。实验表明，该三维工件台的定位控制系统能够达到数字同轴全息显微移动要求，其闭环系统稳定性和精度高，具备很强的实用性。

主权项

一种数字同轴全息显微三维工件台控制系统，其特征在于：三维工件台控制系统由X轴电机(1)、X轴光栅尺(4)、X轴限位开关(7)、Y轴电机(2)、Y轴光栅尺(5)、Y轴限位开关(8)、Z轴电机(3)、Z轴光栅尺(6)和Z轴限位开关(9)构成，每轴电机和光栅尺构成闭环定位控制系统实现工件台的快速、精准定位，限位开关防止超出行程，步进电机驱动器和光栅尺根据精度进行设置，光栅位置实时通过USB通信传输到电脑端，MCU根据移动距离和速度，计算并设置PWM周期参数，通过五相步进电机驱动器实现对电机的高精度控制，且三轴独立可控，其中：X轴闭环定位控制由X轴电机(1)、X轴光栅尺(4)、X轴限位开关(7)构成，电机带动工件台在X轴运动，距离信息通过X轴光栅尺(4)反馈，X轴限位开关(7)处于导轨两侧用于超出行程时紧急制动，Y轴闭环定位控制由Y轴电机(2)、Y轴光栅尺(5)、Y轴限位开关(8)构成，功能与X轴闭环定位控制系统相同，Z轴闭环定位控制由Z轴电机(3)、Z轴光栅尺(6)、Z轴限位开关(9)构成，用于做纵向运动。