[发明专利]一种超低粗糙度钨探针的制备装置及方法在审
| 申请号： | 201611091240.2 | 申请日： | 2016-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN106501555A | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 成永红;董承业;门闯;孟国栋;王科镜;高新宇 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01Q60/60 | 分类号： | G01Q60/60 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司61200 | 代理人： | 齐书田 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超低粗糙度钨探针的制备装置及方法，包括减震平台，减震平台上连接有L型固定支架，L型固定支架上连接有用于带动钨丝运动的运动控制系统，减震平台上还设置有装有腐蚀溶液的容器，且装有腐蚀溶液的容器位于钨丝的正下方，装有腐蚀溶液的容器中设置铜环对电极，装有腐蚀溶液的容器中还设有用于将铜环对电极和钨丝隔离的对电极隔离系统，且铜环对电极和钨丝分别连接至数控直流电源的负极和正极。本发明基于动态电化学腐蚀原理，在有效控制针尖轮廓和长‑径比的前提下，制备出超低粗糙度纳尺度钨探针。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粗糙 探针 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种超低粗糙度钨探针的制备装置，其特征在于，包括减震平台(8)，减震平台(8)上连接有L型固定支架(6)，L型固定支架(6)上连接有用于带动钨丝(9)运动的运动控制系统，减震平台(8)上还设置有装有腐蚀溶液的容器(4)，且装有腐蚀溶液的容器(4)位于钨丝(9)的正下方，装有腐蚀溶液的容器(4)中设置铜环对电极(11)，装有腐蚀溶液的容器(4)中还设有用于将铜环对电极(11)和钨丝(9)隔离的对电极隔离系统，且铜环对电极(11)和钨丝(9)分别连接至数控直流电源(3)的负极和正极。
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