[发明专利]一种真空气氛处理装置、样品观测系统及方法有效
| 申请号： | 201611090486.8 | 申请日： | 2016-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN106783493B | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 何伟;李帅;王鹏 | 申请（专利权）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/18 | 分类号： | H01J37/18;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 张颖玲;李梅香 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空气氛处理装置，所述装置的顶部与外部的粒子束产生装置连接，其特征在于，所述装置包括：底部与外部的待测样品或承载所述待测样品的平台接触的吸盘、与外部的供气系统连接的第一气体控制器、与外部的抽气系统连接的第二气体控制器；其中，所述装置的顶部设置有窗口，所述窗口用于使外部的粒子束进入所述装置；所述第一气体控制器，用于连接所述供气系统和所述吸盘；所述第二气体控制器，用于连接所述抽气系统和所述吸盘。本发明还公开了一种样品观测系统及方法。 | ||
| 搜索关键词： | 气体控制器 吸盘 外部 抽气系统 处理装置 待测样品 供气系统 观测系统 真空气氛 粒子束 粒子束产生装置 顶部设置 承载 | ||
【主权项】：
1.一种真空气氛处理装置，所述装置的顶部与外部的粒子束产生装置连接，其特征在于，所述真空气氛处理装置包括：底部与外部的待测样品或承载所述待测样品的平台接触的吸盘、与外部的供气系统连接的第一气体控制器以及与外部的抽气系统连接的第二气体控制器；其中，所述真空气氛处理装置的顶部设置有窗口，所述窗口用于使外部的粒子束进入所述真空气氛处理装置；所述第一气体控制器，用于连接所述供气系统和所述吸盘；所述第二气体控制器，用于连接所述抽气系统和所述吸盘；所述吸盘包括：金属波纹管、至少包括一圈弹簧的弹簧结构和密封结构；所述弹簧结构位于所述金属波纹管的波纹内部，用于支撑所述金属波纹管；所述金属波纹管的底部与所述密封结构连接；所述密封结构与所述待测样品或承载所述待测样品的平台接触。
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