[发明专利]晶体生长远程控制系统在审
| 申请号： | 201611065333.8 | 申请日： | 2016-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN106400107A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 屈菁菁;丁雨憧;付昌禄 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司50212 | 代理人： | 李海华 |
| 地址： | 400060 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶体生长远程控制系统，包括晶体生长控制器和远程控制端，远程控制端通过通讯模块与晶体生长控制器连接实现通讯功能；晶体生长控制器同时与晶体生长涉及到的加热模块、气氛控制模块、冷却水控制模块、PID控制模块、称重模块、籽晶杆运动控制模块和图像传输模块双向连接。本发明可以通过移动终端（如手机）控制晶体生长控制器，对晶体生长系统的各个环节进行管理、协调和监控，确保安全性和可靠性，既节省时间，大大降低了操作人员的劳动强度，也能够确保控制的及时性，操作人员可以随时随地进行需要操作，也能够随时随地监控晶体生长情况。 | ||
| 搜索关键词： | 晶体生长 远程 控制系统 | ||
【主权项】：
晶体生长远程控制系统，其特征在于：包括晶体生长控制器和远程控制端，远程控制端通过通讯模块与晶体生长控制器连接实现通讯功能；晶体生长控制器同时与加热模块、气氛控制模块、冷却水控制模块、PID控制模块、称重模块、籽晶杆运动控制模块和图像传输模块双向连接；加热模块，用于提供晶体生长系统所需加热功率；气氛控制模块，用于提供晶体生长所需环境；冷却水控制模块，用于提供进出线圈和炉膛需要温度、压力和流量的冷却水；PID控制模块，用于对晶体生长的比例单元、积分单元和微分单元参数的控制；称重模块，用于对晶体重量进行测量；籽晶杆运动模块，用于对籽晶杆进行提拉和旋转操作；图像传输模块，用于传输晶体生长过程中的图像。
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