[发明专利]粒子分析装置

摘要

本发明提供一种搭载粒子测量部和成分分析部的粒子分析装置，可在防止检测灵敏度降低的同时，扩大测量范围。该粒子分析装置包括粒子测量部，其基于试样气体中粒子所散射的激光，测量所述试样气体中的粒子的数量或者浓度；成分分析部，其测量试样气体中不同成分的粒子的含量；流路，其一端和试样气体源连接，在另一端侧的分支点，分为第1流路和第2流路，第1流路将试样气体导入粒子测量部，第2流路将试样气体导入成分分析部；第1调整部，其设置在所述第1流路，利用稀释气体稀释试样气体，通过将稀释后的试样气体导入粒子测量部，来调整粒子测量部的测量范围；以及第2调整部，其设置在第2流路，对将试样气体导入成分分析部的导入时间进行调整。

主权项

一种粒子分析装置，其包含，粒子测量部，其基于由试样气体中粒子散射的激光，测量所述试样气体中的粒子的数量或者浓度；成分分析部，其测量所述试样气体中粒子的不同成分的含量；流路，其一端和试样气体源连接，在另一端侧的分支点，分支为第1流路和第2流路，第1流路将所述试样气体导入所述粒子测量部，第2流路将所述试样气体导入所述成分分析部；第1调整部，其设置在所述第1流路，利用稀释气体稀释所述试样气体，通过将稀释后的试样气体导入所述粒子测量部，来调整所述粒子测量部的测量范围；第2调整部，其设置在所述第2流路，调整将所述试样气体导入所述成分分析部的导入时间。