[发明专利]粒子分析装置

权利要求书

1.一种粒子分析装置，其包含，

粒子测量部，其基于由试样气体中粒子散射的激光，测量所述试样气体中的粒子的数量或者浓度；

成分分析部，其测量所述试样气体中粒子的不同成分的含量；

流路，其一端和试样气体源连接，在另一端侧的分支点，分支为第1流路和第2流路，第1流路将所述试样气体导入所述粒子测量部，第2流路将所述试样气体导入所述成分分析部；

第1调整部，其设置在所述第1流路，利用稀释气体稀释所述试样气体，通过将稀释后的试样气体导入所述粒子测量部，来调整所述粒子测量部的测量范围；

第2调整部，其设置在所述第2流路，调整将所述试样气体导入所述成分分析部的导入时间。

2.根据权利要求1所述的粒子分析装置，其特征在于，

所述第1调整部包含：

稀释气体流路，其一端和稀释气体源连接，另一端和所述第1流路连接；

稀释气体流量控制部，其设置在所述稀释气体流路，控制导入所述第1流路的所述稀释气体的流量。

3.根据权利要求2所述的粒子分析装置，其特征在于，

包括废气流量控制部，其控制从所述粒子测量部排出的废气的流量。

4.根据权利要求3所述的粒子分析装置，其特征在于，包括：

稀释率计算部，其基于所述稀释气体流量控制部中所述稀释气体的流量、所述废气流量控制部中所述废气的流量，计算稀释率；以及

浓度计算部，其基于所述粒子测量部的测量结果和所述稀释率，计算未被稀释的试样气体中粒子的浓度。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的粒子分析装置，其特征在于，

所述第2调整部包括：

试样气体流量控制部，其配置在所述第2流路，来控制所述试样气体的流量；以及

流路开闭部，其配置在所述第2流路，切换打开状态和关闭状态，来调整导入所述成分分析部的所述试样气体的导入时间。

6.根据权利要求5所述的粒子分析装置，其特征在于，

包括导入量计算部，其基于所述试样气体流量控制部中所述试样气体的流量、由所述流路开闭部调整的所述试样气体导入所述成分分析部的导入时间，计算导入所述成分分析部的所述试样气体的导入量，

所述第2调整部调整所述流路开闭部的打开状态的时间，来将所述试样气体的导入量控制在预先设定的范围。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的粒子分析装置，其特征在于，

所述成分分析部包括：

粒子线生成部，其射出所述试样气体中的粒子的粒子线；

捕捉体，其配置在所述粒子线射出的位置，捕捉所述粒子线中的粒子；

能量线照射部，其将能量线照射到所述捕捉体，使所述捕捉体捕捉到的粒子气化、升华或者反应，生成脱离成分；以及

分析器，其分析所述脱离成分，测量粒子的不同成分的量。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的粒子分析装置，其特征在于，包括：

旁路流路，其从所述第2流路分支出；

旁路流量控制部，其设置在所述旁路流路中，控制所述旁路流路中流动的试样气体的流量，使从所述试样气体源流入整个所述粒子分析装置的试样气体的必要流量在预先设定的范围；以及

废气流路，该废气流路供从所述粒子测量部排出的废气流动，

所述旁路流路和所述废气流路连接。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的粒子分析装置，其特征在于，

由所述粒子测量部测量的粒子的数量或者浓度越高，使所述试样气体的导入时间越短。