[发明专利]一种用于球面透镜面形绝对标定的被检镜装调方法及装置有效
申请号: | 201611058914.9 | 申请日: | 2016-11-25 |
公开(公告)号: | CN106767498B | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
发明(设计)人: | 苗亮;张文龙;刘钰;马冬梅;金春水 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 赵勍毅 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种用于球面透镜面形绝对标定的被检镜装调方法,可以在球面透镜面形误差绝对标定过程中,精确定位被检透镜光轴在其面形干涉检测结果中的坐标位置,为被检透镜面形误差的高精度校正提供重要保障,克服了传统技术无法消除透镜两表面面倾斜加工误差和透镜定心加工误差的影响,从而无法精确在面形检测结果中精确定位被检透镜光轴坐标位置的弊端,本发明还提供了一种用于球面透镜面形绝对标定的被检镜装调装置。 | ||
搜索关键词: | 绝对标定 球面透镜 镜装 面形 透镜 透镜光轴 坐标位置 定心加工 加工误差 检测结果 精度校正 面形干涉 面形检测 面形误差 透镜面形 重要保障 | ||
【主权项】:
1.一种用于球面透镜面形绝对标定的被检镜装调装置,其特征在于,包括干涉仪主机、球面标准镜头、被检透镜、小行程五维调整台、转台和大行程五维调整台;所述转台安装在所述大行程五维调整台上,所述小行程五维调整台安装在所述转台上,所述被检透镜放置在所述小行程五维调整台上,所述干涉仪主机设置在正对所述被检透镜的正上方,在第一状态时,所述球面标准镜头设置在所述干涉仪主机和所述被检透镜之间;所述被检镜装调装置还包括:平面标准镜头和光学平晶,在第二状态时,所述平面标准镜头和所述光学平晶替换所述球面标准镜头,所述平面标准镜头和所述光学平晶平行设置在所述干涉仪主机和所述被检透镜之间,所述光学平晶位于所述平面标准镜头和所述被检透镜之间。
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