[发明专利]一种高迁移率的氧化锡基薄膜材料在审
| 申请号： | 201611044258.7 | 申请日： | 2016-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN106784012A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 王举;孙益民;芮定文 | 申请（专利权）人： | 安徽瑞研新材料技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市经济技*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高迁移率的氧化锡基薄膜材料，具体为通过溶胶凝胶法在表面凝结有溶胶的氧化锡基片，所述氧化锡基片包括氧化锡、氧化铟及氧化锌，基于铟、锌及锡的原子总含量100at.%计，锡的原子含量范围为60至80at.%，铟的原子含量范围为10至25at.%，锌的原子含量范围为1至20at.%。所述氧化锡基片中铟的原子含量大于锌的原子含量。本发明提出的一种氧化锡基薄膜材料，采用溶胶凝胶法制得，制备成本低廉，工艺简单，适合工业化生产。制得的氧化锡基薄膜材料迁移率高达8.6cm2V1S1。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 迁移率 氧化 薄膜 材料 | ||
【主权项】：
一种高迁移率的氧化锡基薄膜材料，其特征在于，具体为通过溶胶凝胶法在表面凝结有溶胶的氧化锡基片，所述氧化锡基片包括氧化锡、氧化铟及氧化锌，基于铟、锌及锡的原子总含量100at.%计，锡的原子含量范围为60至80at.%，铟的原子含量范围为10至25at.%，锌的原子含量范围为1至20at.%。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽瑞研新材料技术研究院有限公司，未经安徽瑞研新材料技术研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611044258.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种载流子增强型MOS结构
- 下一篇：一种薄膜晶体管、阵列基板和显示装置
- 同类专利
- 专利分类
