[发明专利]空气主轴的抛光处理方法有效
| 申请号： | 201611039897.4 | 申请日： | 2016-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN108080356B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 张涛杰 | 申请（专利权）人： | 东莞新科技术研究开发有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 523087 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明的空气主轴的抛光处理方法，包括：将经超声波振动清洗的空气主轴置于等离子体反应腔；调节所述等离子体反应腔内的真空度至第一值；向所述等离子体反应腔通入氧气及氩气并保持所述真空度；控制所述等离子体反应腔的阴极射频频率为80～100KHz，阳极射频频率为30～35MHz，以实现第一次辉光放电。本发明能高效清洗空气主轴表面的有机残留物，从而保证表面光滑洁净，降低摩擦力，以提高工作稳定性及精密度并延长使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 空气 主轴 抛光 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种空气主轴的抛光处理方法，包括：将经超声波振动清洗的空气主轴置于等离子体反应腔；调节所述等离子体反应腔内的真空度至第一值；向所述等离子体反应腔通入氧气及氩气并保持所述真空度；控制所述等离子体反应腔的阴极射频频率为80～100KHz，阳极射频频率为30～35MHz，以实现第一次辉光放电。
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