[发明专利]空气主轴的抛光处理方法有效
| 申请号： | 201611039897.4 | 申请日： | 2016-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN108080356B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 张涛杰 | 申请（专利权）人： | 东莞新科技术研究开发有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫 |
| 地址： | 523087 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 空气 主轴 抛光 处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种空气主轴的抛光处理方法，包括：
将经超声波振动清洗的空气主轴置于等离子体反应腔；
调节所述等离子体反应腔内的真空度至第一值；
向所述等离子体反应腔通入氧气及氩气并保持所述真空度；
控制所述等离子体反应腔的阴极射频频率为80～100KHz，阳极射频频率为30～35MHz，以实现第一次辉光放电；
还包括第二次辉光放电，具体包括：
调节等离子体反应腔内的真空度至第二值，所述第二值大于所述第一值；
向所述等离子体反应腔通入氧气及氩气并降低所述真空度，所述氧气及所述氩气的流量均小于所述第一次辉光放电时的流量；
控制所述等离子体反应腔的阴极射频频率为10～15MHz，阳极射频频率为1.5～2.4GHz。
2.如权利要求1所述的空气主轴的抛光处理方法，其特征在于：控制所述第一次辉光放电的时间为800～900秒。
3.如权利要求1所述的空气主轴的抛光处理方法，其特征在于：所述第一值为550～600pa。
4.如权利要求1所述的空气主轴的抛光处理方法，其特征在于：所述氧气的流量为小于50sccm，所述氩气的流量为500～650sccm。
5.如权利要求4所述的空气主轴的抛光处理方法，其特征在于：控制所述第二次辉光放电的时间为600～700秒。
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