[发明专利]显影装置以及显影液活性度的补偿方法有效
| 申请号： | 201611028748.8 | 申请日： | 2016-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN106444304B | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 赵敏敏 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种显影装置以及显影液活性度的补偿方法，将显影液存储于一显影装置的一存储槽，监测影响所述显影液活性度的因素，根据所述因素的监测结果，通过调整所述存储槽内显影液的温度，以对所述显影液的活性度进行补偿，可以避免因所述显影液的活性度改变而带来的关键尺寸以及膜厚偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 装置 以及 显影液 活性 补偿 方法 | ||
【主权项】：
1.一种显影装置中显影液活性度的补偿方法，其特征在于，包括：将显影液存储于一显影装置的一存储槽，监测影响所述显影液活性度的因素，根据所述因素的监测结果，调整所述存储槽内显影液的温度，以对所述显影液的活性度进行补偿；当所述显影装置空闲后需跑产品时，控制所述存储槽内显影液的温度高于一标准温度，所述标准温度为正常跑产品时所述存储槽内显影液的温度。
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