[发明专利]5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统

摘要

本发明公开了一种5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统，属于显微物镜设计领域。本发明的5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统包括沿同一光轴从左向右排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、分光棱镜和垂直于光轴设置的参考平板。本发明的干涉显微物镜光学系统的放大倍率为5X，数值孔径为0.13，工作距离达到15毫米。本发明5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统结构简单，工作距离长，成像质量好，适用于多种干涉显微镜，可用于测量表面微观三维轮廓。

主权项

一种5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统，其特征在于所述5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统包括沿同一光轴从左向右排列的第一透镜(1)、第二透镜(2)、第三透镜(3)、第四透镜(4)、分光棱镜(5)和垂直于光轴设置的参考板(6)；其中，第一透镜(1)的口径为12毫米，中心厚为2.7毫米，左右两个表面均为球面，左球面曲率半径为18.14毫米，右球面曲率半径为‑25.82毫米，采用的玻璃牌号为H‑K9L；第二透镜(2)的口径为12毫米，中心厚为3.5毫米，左右两个表面均为球面，左球面曲率半径为‑25.82毫米，右球面曲率半径为160.588毫米，采用的玻璃牌号为H‑LaK50；第三透镜(3)的口径为11毫米，中心厚为2.72毫米，左右两个表面均为球面，左球面曲率半径为27.778毫米，右球面曲率半径为12.532毫米，采用的玻璃牌号为H‑ZLAF75；第四透镜(4)的口径为11毫米，中心厚为3.6毫米，左右两个表面均为球面，左球面曲率半径为12.532毫米，右球面曲率半径为36.843毫米，采用的玻璃牌号为H‑QK1；分光棱镜(5)为立方棱镜，各边长度为10毫米，采用的玻璃牌号为H‑K9L；参考板(6)为一圆形光学平板，其直径为10毫米，厚度为2毫米，采用的玻璃牌号为JGS3；第二透镜(2)与第三透镜(3)的间隔为5毫米，第四透镜(4)与分光棱镜(5)的间隔为5毫米，分光棱镜(5)与参考板(6)的间隔为19毫米。