[发明专利]5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统

权利要求书

1.一种5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统，其特征在于所述5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统包括沿同一光轴从左向右排列的第一透镜(1)、第二透镜(2)、第三透镜(3)、第四透镜(4)、分光棱镜(5)和垂直于光轴设置的参考板(6)；其中，第一透镜(1)的口径为12毫米，中心厚为2.7毫米，左右两个表面均为球面，左球面曲率半径为18.14毫米，右球面曲率半径为-25.82毫米，采用的玻璃牌号为H-K9L；第二透镜(2)的口径为12毫米，中心厚为3.5毫米，左右两个表面均为球面，左球面曲率半径为-25.82毫米，右球面曲率半径为160.588毫米，采用的玻璃牌号为H-LaK50；第三透镜(3)的口径为11毫米，中心厚为2.72毫米，左右两个表面均为球面，左球面曲率半径为27.778毫米，右球面曲率半径为12.532毫米，采用的玻璃牌号为H-ZLAF75；第四透镜(4)的口径为11毫米，中心厚为3.6毫米，左右两个表面均为球面，左球面曲率半径为12.532毫米，右球面曲率半径为36.843毫米，采用的玻璃牌号为H-QK1；分光棱镜(5)为立方棱镜，各边长度为10毫米，采用的玻璃牌号为H-K9L；参考板(6)为一圆形光学平板，其直径为10毫米，厚度为2毫米，采用的玻璃牌号为JGS3；第二透镜(2)与第三透镜(3)的间隔为5毫米，第四透镜(4)与分光棱镜(5)的间隔为5毫米，分光棱镜(5)与参考板(6)的间隔为19毫米。

2.根据权利要求1所述的5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统，其特征在于：第一透镜(1)与第二透镜(2)为双胶合透镜。

3.根据权利要求1所述的5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统，其特征在于：第三透镜(3)与第四透镜(4)为双胶合透镜。

4.根据权利要求1所述的5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统，其特征在于：分光棱镜(5)为消偏振分光镜，透射比与反射比为50％：50％。

5.根据权利要求1所述的5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统，其特征在于：参考板(6)上表面镀消偏振分光膜，透射比与反射比为50％：50％。

6.根据权利要求1所述的5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统，其特征在于：参考板(6)上表面的表面粗糙度Ra值为0.1纳米。

7.根据前述权利要求任意一项所述的5倍迈克尔逊型干涉显微物镜光学系统，其特征在于：系统的数值孔径为0.13，工作距离为15毫米。