[发明专利]多重反射型单元、分析装置、排气分析装置和光的射入方法在审
申请号: | 201611005510.3 | 申请日: | 2016-11-11 |
公开(公告)号: | CN107024442A | 公开(公告)日: | 2017-08-08 |
发明(设计)人: | 赤松武 | 申请(专利权)人: | 株式会社堀场制作所 |
主分类号: | G01N21/35 | 分类号: | G01N21/35;G01N21/01 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司11290 | 代理人: | 李雪春,王维玉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供多重反射型单元、分析装置、排气分析装置和光的射入方法,所述多重反射型单元具有多重反射机构,该多重反射机构在对射入的光进行多重反射后将上述光向外部射出,所述多重反射型单元能够使导入测量对象气体的单元主体的容积变小,并且能够降低在多重反射机构中未被反射而损失的光的量,所述多重反射机构具有场镜;第一物镜,与所述场镜相对,并且设置在所述多重反射机构的光的射入侧;以及第二物镜,与所述场镜相对,并且设置在所述多重反射机构的光的射出侧,射入所述多重反射机构的光最初被所述第二物镜反射。 | ||
搜索关键词: | 多重 反射 单元 分析 装置 排气 射入 方法 | ||
【主权项】:
一种多重反射型单元,具有多重反射机构,所述多重反射机构在对射入的光进行多重反射后将所述光向外部射出,所述多重反射型单元的特征在于,所述多重反射机构具有:场镜;第一物镜,与所述场镜相对,并且设置在所述多重反射机构的光的射入侧;以及第二物镜,与所述场镜相对,并且设置在所述多重反射机构的光的射出侧,射入所述多重反射机构的光最初被所述第二物镜反射。
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