[发明专利]一种真空镀膜箱设备

摘要

本发明公开了一种真空镀膜箱设备，包括镀膜箱、自动门机构和自动门驱动机构，所述镀膜箱的前侧开口，镀膜箱的开口侧安装有自动门机构，自动门驱动机构安装在镀膜箱的右侧，自动门驱动机构与自动门机构之间通过齿轮齿条啮合连接。它更加方便地将基板放入真空镀膜箱，且方便地将真空镀膜箱开口侧封闭。

主权项

1.一种真空镀膜箱设备，包括镀膜箱(1)、自动门机构(2)和自动门驱动机构(3)，其特征在于：所述镀膜箱(1)的前侧开口，镀膜箱(1)的开口侧安装有自动门机构(2)，自动门驱动机构(3)安装在镀膜箱(1)的右侧，自动门驱动机构(3)与自动门机构(2)之间通过齿轮齿条啮合连接；所述自动门机构(2)包括滑条(21)和门板(22)，所述门板(22)的前端铰接在滑条(21)的前端，滑条(21)插套在镀膜箱(1)的右侧壁上；所述自动门驱动机构(3)包括大齿轮(31)，大齿轮(31)的内部中空部分固定有齿圈(32)，齿圈(32)与传动齿轮(33)啮合，传动齿轮(33)固定在连接轴(34)的一端，连接轴(34)的另一端固定有第二传动轮(35)并铰接在驱动机构支架(39)的延伸臂(391)上，第二传动轮(35)与驱动齿轮(36)啮合，驱动齿轮(36)的下端设有弹性导向装置(37)，驱动齿轮(36)的上端的圆柱凸起(361)套接在延伸臂(391)的通孔(3911)内，驱动手柄(38)穿过通孔(3911)固定在圆柱凸起(361)上；驱动手柄(38)的传动臂(381)套接在驱动机构支架(39)的通槽(392)上，驱动机构支架(39)固定在镀膜箱(1)的右侧；所述大齿轮(31)的前端啮合有拨杆齿轮(40)，拨杆齿轮(40)上固定有拨杆(401)，拨杆齿轮(40)铰接在镀膜箱(1)的右侧壁上；所述大齿轮(31)铰接在镀膜箱(1)的右侧壁上，滑条(21)的齿段(211)与大齿轮(31)啮合。