[发明专利]一种燃料电池金属极板真空镀膜流水线设备及其镀膜方法有效
| 申请号： | 201610984270.X | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN107058970B | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 易培云;张伟鑫;毕飞飞;彭林法;来新民 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 林君如 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种燃料电池金属极板真空镀膜流水线设备及镀膜方法，流水线设备包括：真空腔室组：包括依次密封联接并相互独立的进炉室、前处理室、第一镀膜室、第二镀膜室、后处理室和出炉室，所述的前处理室内设有加热装置，以及离子源装置，所述的第一镀膜室用于对燃料电池金属极板沉积底层元素层，所述的第二镀膜室用于对燃料电池金属极板沉积抗腐蚀导电涂层，每个腔室中均设有独立的真空泵；支架：用于安置待处理的燃料电池金属极板；传动机构：包括依次穿过真空腔室组中的各腔室的流水线导轨，以及驱动支架沿所述流水线导轨行进的动力组件；PLC控制系统。与现有技术相比，本发明的流水线设备结构精简，安装方面，维护可靠，生产效率高等。 | ||
| 搜索关键词： | 金属极板 燃料电池 流水线设备 镀膜室 真空镀膜 真空腔室 前处理 导轨 镀膜 腔室 沉积 流水线 离子源装置 后处理 导电涂层 底层元素 动力组件 加热装置 密封联接 驱动支架 生产效率 抗腐蚀 真空泵 出炉 进炉 支架 行进 穿过 室内 安置 维护 | ||
【主权项】：
1.一种燃料电池金属极板真空镀膜流水线设备，其特征在于，包括：真空腔室组：包括依次密封联接并相互独立的进炉室、前处理室、第一镀膜室、第二镀膜室、后处理室和出炉室，其中，所述的前处理室内设有加热装置，以及用于轰击燃料电池金属极板表面进行预处理的离子源装置，所述的第一镀膜室用于对燃料电池金属极板沉积底层元素层，所述的第二镀膜室用于对燃料电池金属极板沉积抗腐蚀导电涂层，每个腔室中均设有独立的真空泵；支架：用于安置待处理的燃料电池金属极板；传动机构：包括依次穿过真空腔室组中的各腔室的流水线导轨，以及驱动支架沿所述流水线导轨行进的动力组件；PLC控制系统；所述的后处理室中还设有后处理装置，包括加热单元和微缺陷处理单元；所述的第一镀膜室内设有至少一对的阴极靶材，其阴极靶材选自Ti、Al、Cr、Nb、钛铝合金、钛硅合金、钛铌合金、铬钼合金中的一种或多种；所述的第二镀膜室内设有0～2对离子源和2～4对阴极靶材，其阴极靶材选自Au、Ag、C、Nb、Ta、W中一种或多种；第二镀膜室内，离子源和阴极靶材相邻设置，其中，阴极靶材的间隔为200cm～1000cm，靶基距大小为60cm～160cm。
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