[发明专利]测温装置及工艺腔室在审
| 申请号： | 201610973541.1 | 申请日： | 2016-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN108020323A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 文莉辉;张军;武学伟;徐宝岗 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/06 | 分类号： | G01J5/06 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种测温装置，测温装置包括红外测温传感器和遮光筒，遮光筒包括筒状本体，还包括降温部件和/或隔离部件；降温部件设置在筒状本体上，用于将筒状本体降至设定的温度范围，并保持在所述温度范围；隔离部件设置在筒状本体和热源之间，用于将筒状本体与热源隔离。本发明还提供了一种工艺腔室，包括本发明提供的测温装置。本发明提供的测温装置提高了红外测温传感器测量的精确性；根据本发明的工艺腔室，在采用热电偶对托盘进行PID温度控制，红外测温传感器进行监控的情况下，可以使红外测温传感器测量的温度与热电偶测量的温度相差不大，甚至相同。 | ||
| 搜索关键词： | 测温 装置 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种测温装置，所述测温装置包括红外测温传感器和遮光筒，所述遮光筒包括筒状本体，其特征在于，所述遮光筒还包括：降温部件，所述降温部件设置在所述筒状本体上，用于将所述筒状本体降至设定的温度范围，并保持在所述温度范围；和/或隔离部件，所述隔离部件设置在所述筒状本体和热源之间，用于将所述筒状本体与所述热源隔离。
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