[发明专利]测温装置及工艺腔室

权利要求书

1.一种测温装置，所述测温装置包括红外测温传感器和遮光筒，所述遮光筒包括筒状本体，其特征在于，所述遮光筒还包括：

降温部件，所述降温部件设置在所述筒状本体上，用于将所述筒状本体降至设定的温度范围，并保持在所述温度范围；和/或

隔离部件，所述隔离部件设置在所述筒状本体和热源之间，用于将所述筒状本体与所述热源隔离。

2.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于，所述降温部件为设置在所述筒状本体筒壁上的冷却通道；

所述冷却通道包括入口和出口，从所述入口输入冷却介质，所述冷却介质被输送至所述冷却通道内，与所述筒状本体的筒壁进行热交换。

3.根据权利要求2所述的测温装置，其特征在于，所述冷却通道在所述筒状本体的筒壁上均匀分布。

4.根据权利要求3所述的测温装置，其特征在于，所述冷却通道由在筒壁上设置的至少一条竖直通道和沿筒壁周向设置的至少一条弧形通道交替串接而成。

5.根据权利要求4所述的测温装置，其特征在于，所述冷却通道包括6条竖直通道和6条弧形通道，其中，

所述弧形通道中的3条设置在筒壁上部，3条设置在筒壁下部，所述竖直通道与所述弧形通道交替串接。

6.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于，所述温度范围小于200℃。

7.根据权利要求6所述的测温装置，其特征在于，所述温度范围小于100℃。

8.根据权利要求2所述的测温装置，其特征在于，所述冷却介质为水。

9.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于，所述筒状本体的表面为抛光面或镀金面。

10.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于，所述筒状本体的材质为不锈钢或铜。

11.根据权利要求1所述的测温装置，其特征在于，所述隔离部件为筒状；

所述隔离部件套置于所述筒状本体的外部；并且；

所述隔离部件的内壁与所述筒状本体的外壁具有一定间距。

12.根据权利要求11所述的测温装置，其特征在于，所述隔离部件的数量为多个；

多个所述隔离部件沿所述筒状本体的径向依次间隔套置在所述筒状本体的外部。

13.根据权利要求12所述的测温装置，其特征在于，位于最外层的所述隔离部件的外表面为反光面。

14.一种工艺腔室，包括托盘、用于对托盘加热的红外灯、用于检测托盘温度的测温装置，其特征在于，所述测温装置采用权利要求1-13任一项所述的测温装置。