[发明专利]一种晶片质量检测装置在审
| 申请号： | 201610972714.8 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106353331A | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 高书征;林森;陆再旺 | 申请（专利权）人： | 深圳市旭升视觉科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司44260 | 代理人： | 杜启刚 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶片质量检测装置，包括机架、上位机、相机、机器人、移动光源、真空吸头、真空源、用于承载晶片矩阵的工作台和控制电路；工作台和机器人安装在机架的下部，机器人位于工作台的一侧；相机安装在机架的上部，朝向工作台；移动光源安装在机架的中部，位于工作台的上方；真空吸头固定在机器人的机械手上，朝向工作台；控制电路包括控制器，控制器的输入端接上位机的输出端，移动光源的控制端接控制器的控制信号输出端；机器人分别与上位机及控制器通信连接，相机与上位机通信连接。本发明的晶片质量检测装置结构简单，操作步骤少，做到一次对大量晶片的准确识别剔取，生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 质量 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种晶片质量检测装置，包括机架、上位机、相机、真空吸头、真空源和控制电路，相机与上位机通信连接，其特征在于，包括机器人、移动光源和用于承载晶片矩阵的工作台，工作台和机器人安装在机架的下部，机器人位于工作台的一侧；相机安装在机架的上部，朝向工作台；移动光源安装在机架的中部，位于工作台的上方；真空吸头固定在机器人的机械手上，朝向工作台；控制电路包括控制器，控制器的输入端接上位机的输出端，移动光源的控制端接控制器的控制信号输出端；机器人分别与上位机及控制器通信连接。
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