[发明专利]双层微桥结构以及微测辐射热计

摘要

本发明涉及红外探测，提供一种双层微桥结构，包括具有读出电路的衬底以及位于所述衬底正上方的桥面层，于所述衬底与所述桥面层之间设置有桥腿层，所述桥腿层与所述桥面层之间形成谐振腔，所述桥腿层朝向所述谐振腔的一侧表面铺设有反射层，且所述桥腿层通过MEMS器件支撑于所述衬底上，所述桥腿层通过桥腿柱与所述桥面层连接；还提供一种微测辐射热计，包括上述双层微桥结构。本发明中，在桥面层与衬底之间设置有桥腿层，且桥腿层与桥面层之间形成有谐振腔，对此不但桥面层可以直接吸收红外波，而且透入谐振腔内的红外波可以被反射层全反射至桥面层底面再次吸收，从而使得双层微桥结构的红外波吸收率大大提高，有效保证微测辐射热计的性能。

主权项

1.一种双层微桥结构，包括具有读出电路的衬底以及位于所述衬底正上方的桥面层，其特征在于：于所述衬底与所述桥面层之间设置有桥腿层，所述桥腿层与所述桥面层之间形成谐振腔，所述桥腿层朝向所述谐振腔的一侧表面铺设有反射层，且所述桥腿层通过MEMS器件支撑于所述衬底上，所述桥腿层通过桥腿柱与所述桥面层连接，所述桥腿层包括均具有第一端部与第二端部的两个桥腿，所述反射层分为两个部分，分别铺设于两个所述桥腿上，两所述桥腿的所述第一端部分别以各自对应的所述第二端部为中心依次环绕形成盘香状，两所述桥腿交叉嵌合，且所述MEMS器件与位于中心的两个所述第二端部连接，所述桥腿柱为两个，且与两个所述第一端部一一对应，所述桥腿柱一端与对应所述第一端部连接，另一端延伸至所述桥面层底部。