[发明专利]一种用于柔性电子元件的卷对卷高真空溅镀系统及方法在审
| 申请号： | 201610957432.0 | 申请日： | 2016-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN106282958A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 黄皓坚;高启仁;胡堂祥 | 申请（专利权）人： | 成都捷翼电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 成都信博专利代理有限责任公司51200 | 代理人： | 张辉,崔建中 |
| 地址： | 610213 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于柔性电子元件的卷对卷高真空溅镀系统及方法，其中，溅镀系统结构为：左右两边分设进样腔和工艺腔，进样腔和工艺腔相连通，在连通之处上方固定有上真空隔绝装置，下方固定有下真空隔绝装置；在进样腔内依次设置有保护膜收料辊、放料辊、保护膜放料辊和收料辊；在柔性衬底行进流程上设置有若干导向辊；在工艺腔内设置有镀膜辊，并设置有与镀膜辊配套进行溅射工作的直流溅射源、磁控溅射装置和挡板。本发明柔性衬底经过辊轮时不触碰到溅镀面，且增加真空隔绝装置，减少了衬底更换时间，提高了单位时间内卷材的产出量；加入加热装置以及表面处理模组，提高了镀膜品质，提高了柔性电子元件的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 柔性 电子元件 真空 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于柔性电子元件的卷对卷高真空溅镀系统，其特征在于，左右两边分设进样腔(1)和工艺腔(8)，所述进样腔(1)和工艺腔(8)相连通，在连通之处上方固定有上真空隔绝装置(14)，下方固定有下真空隔绝装置(7)；在进样腔(1)内依次设置有保护膜收料辊(2)、放料辊(3)、保护膜放料辊(4)和收料辊(5)，所述保护膜收料辊(2)和放料辊(3)用于撕开柔性衬底保护膜，所述保护膜放料辊(4)和收料辊(5)用于对溅射后的柔性衬底添加保护膜；在柔性衬底行进流程上设置有若干导向辊(16)；在工艺腔(8)内设置有镀膜辊(9)，并设置有与镀膜辊(9)配套进行溅射工作的直流溅射源(10)、磁控溅射装置(11)和挡板(12)。
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