[发明专利]镀膜用磁性承载装置有效
申请号: | 201610939604.1 | 申请日: | 2016-11-01 |
公开(公告)号: | CN106868468B | 公开(公告)日: | 2019-05-17 |
发明(设计)人: | 叶崇宇;苏晖家;叶承朋;颜嘉宏;黄琬瑜;卢木森;黄一原 | 申请(专利权)人: | 凌嘉科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/56 |
代理公司: | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人: | 史瞳;谢琼慧 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种镀膜用磁性承载装置,是用来承载至少一待镀物,其包含一个基座、一个导磁单元,及一个磁性单元。该基座具有一个参考面。该导磁单元设置于该基座的该参考面,并具有多个沿一第一方向彼此间隔的凸柱。该磁性单元设置于该参考面。在本发明中,该导磁单元的各凸柱的一顶面的一高度是大于该磁性单元的一顶面的一高度。本发明于该镀膜用磁性承载装置内引入该导磁单元,使该导磁单元与该磁性单元间距有一高度差,令该导磁单元的各凸柱顶面的高度大于该磁性单元的顶面高度,以借此消除该磁性单元所产生的磁场总量中的垂直分量的磁场,并有效地贡献出水平分量的磁场。 | ||
搜索关键词: | 镀膜 磁性 承载 装置 | ||
【主权项】:
1.一种镀膜用磁性承载装置,是用来承载至少一待镀物,其特征在于:其包含:一个基座,具有一个参考面;一个导磁单元,设置于该基座的该参考面并具有多个沿一第一方向彼此间隔的凸柱;及一个磁性单元,设置于该参考面;其中,该导磁单元的各凸柱的一顶面的一高度是大于该磁性单元的一顶面的一高度;其中,该导磁单元还具有一个位于所述凸柱下的基部;其中,各凸柱是于该参考面上呈一肋状沿一实质垂直于该第一方向的第二方向延伸;其中,该参考面是由该基座的一顶面所定义而成,且该导磁单元与该磁性单元是设置于该参考面上;及其中,该磁性单元具有一对永久磁肋条,该对永久磁肋条是沿该第二方向延伸以分别位于所述凸柱的最外侧的凸柱外,该导磁单元的该基部于所述凸柱的最内侧相邻凸柱间具有一个供放置该待镀物的设置区。
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