[发明专利]电子组件制造装置和方法、三维模塑互连器件的制造方法有效
申请号: | 201610934073.7 | 申请日: | 2016-10-31 |
公开(公告)号: | CN108010851B | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 唐世弋;李喆;李志丹;李会丽;肖鹏飞 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供的电子组件制造装置和制造方法、三维模塑互连器件的制造方法,将送料机构、成型机构以及传递材料机构结合,通过控制系统控制,不论是制作金属线路还是电子组件的绝缘部分,皆使所有的材料皆在成型机构上成型,这样无需使用化学结构、无需繁琐的成型工艺,就能将金属线路与绝缘部分成型成需要制作形成的电子组件,具有工艺简单,操作方便,所需设备少,生产效率高的特点。 | ||
搜索关键词: | 电子 组件 制造 装置 方法 三维 互连 器件 | ||
【主权项】:
1.一种电子组件制造装置,其特征在于,包括:一送料机构,用于提供电子组件制造所需的材料;一成型机构,为所述材料成型提供场所;还包括一凝固装置,将所述成型机构内的所述材料凝固成型;一传递材料机构,用于将所述送料机构上的所述材料传递至所述成型机构;一控制系统,与所述送料机构、所述成型机构、所述凝固装置、所述传递材料机构皆电路连接,用于控制所述送料机构、所述成型机构、所述凝固装置、所述传递材料机构的移动以及参数设置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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