[发明专利]电子组件制造装置和方法、三维模塑互连器件的制造方法有效

专利信息
申请号: 201610934073.7 申请日: 2016-10-31
公开(公告)号: CN108010851B 公开(公告)日: 2020-04-10
发明(设计)人: 唐世弋;李喆;李志丹;李会丽;肖鹏飞 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供的电子组件制造装置和制造方法、三维模塑互连器件的制造方法,将送料机构、成型机构以及传递材料机构结合,通过控制系统控制,不论是制作金属线路还是电子组件的绝缘部分,皆使所有的材料皆在成型机构上成型,这样无需使用化学结构、无需繁琐的成型工艺,就能将金属线路与绝缘部分成型成需要制作形成的电子组件,具有工艺简单,操作方便,所需设备少,生产效率高的特点。
搜索关键词: 电子 组件 制造 装置 方法 三维 互连 器件
【主权项】:
1.一种电子组件制造装置,其特征在于,包括:一送料机构,用于提供电子组件制造所需的材料;一成型机构,为所述材料成型提供场所;还包括一凝固装置,将所述成型机构内的所述材料凝固成型;一传递材料机构,用于将所述送料机构上的所述材料传递至所述成型机构;一控制系统,与所述送料机构、所述成型机构、所述凝固装置、所述传递材料机构皆电路连接,用于控制所述送料机构、所述成型机构、所述凝固装置、所述传递材料机构的移动以及参数设置。
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