[发明专利]一种多晶硅铸锭用氮化硅涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201610932533.2 | 申请日： | 2016-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN106400109A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 张嵘;刘久明 | 申请（专利权）人： | 河北正雍新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 050000 河北省石家庄市桥西*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅铸锭用氮化硅涂层的制备方法，其制备方法如下（1）喷涂浆料的制备首先将一定质量的氮化硅粉体加入到超纯水中，搅拌得到均匀的氮化硅浆液；然后将硅溶胶加入到所述氮化硅浆液中，继续搅拌均匀制得喷涂浆料；（2）刷涂浆料的制备首先量取一定量的步骤（1）所述喷涂浆料用作刷涂浆料前驱体，然后加入超纯水，搅拌均匀制得刷涂浆料；（3）氮化硅涂层的制备首先将刷涂浆料均匀地刷涂在坩埚内表面上，待水分蒸发后再将喷涂浆料均匀喷涂到坩埚内表面上。本发明制备的氮化硅涂层隔绝性能相对现有技术更好，可以有效提高硅锭的收益率，适合多晶硅铸锭工业规模化应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 氮化 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭用氮化硅涂层的制备方法，其特征在于，通过以下步骤实现：（1）喷涂浆料的制备：首先将一定质量的氮化硅粉体加入到超纯水中，所述氮化硅粉体的加入量为所述超纯水的30~50wt%，搅拌5~30min得到均匀的氮化硅浆液；然后将硅溶胶加入到所述氮化硅浆液中，所述硅溶胶的加入量为所述超纯水体积的10~25%，继续搅拌均匀制得喷涂浆料；（2）刷涂浆料的制备：首先量取一定量的步骤（1）所述喷涂浆料用作刷涂浆料前驱体，所述刷涂浆料前驱体为步骤（1）所述喷涂浆料的20~40%，然后加入超纯水，所述超纯水的加入量为所述刷涂浆料前驱体体积的50~150%，搅拌均匀制得刷涂浆料；（3）氮化硅涂层的制备：首先将刷涂浆料均匀地刷涂在坩埚内表面上，待水分蒸发后再将喷涂浆料均匀喷涂到坩埚内表面上，所述坩埚温度为50~90℃，所述喷涂距离为10~30cm，所述喷涂压力为0.2~0.5MPa。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河北正雍新材料科技有限公司，未经河北正雍新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610932533.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
