[发明专利]一种具有加热装置的工艺管排气管路及控制方法有效
| 申请号： | 201610921716.4 | 申请日： | 2016-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN106507514B | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 穆晓航;钟结实;王凯;杨帅 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;H05B1/02 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;张磊 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有加热装置的工艺管排气管路及控制方法，通过在工艺管排气管路安装加热装置，可根据工艺菜单中不同步骤的加热温度需求，以设定的温度控制目标值对排气管路的管壁进行加热及温度控制，避免了工艺排气时的尾气在排气管路的管壁上沉积并形成颗粒，从而保证了工艺管排气管路的通畅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 加热 装置 工艺 排气 管路 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种具有加热装置的工艺管排气管路，设于低压化学气相淀积设备中，其特征在于，所述加热装置包括：加热单元，用于对排气管路的管壁进行加热；加热控制器，用于根据温度控制目标值对加热单元进行温度控制；主控单元，用于对加热控制器的温度控制目标值进行设定及修改。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610921716.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便携叠加式移动电源装置
- 下一篇：一种旅游用充电宝
