[发明专利]一种正交融合结构声表面波一氧化碳气体传感器在审
| 申请号： | 201610919177.0 | 申请日： | 2016-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN106324089A | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 张朋;范福玲;常静;赵启凤;江涛;付邦胜;杨益;王双红;靳莹瑞;肖俊明;王晓雷 | 申请（专利权）人： | 中原工学院 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01D21/02 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司41125 | 代理人： | 张绍琳,栗改 |
| 地址： | 451191 河南省郑州*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种正交融合结构声表面波一氧化碳气体传感器，包括声表面波器件和智能控制模块，声表面波器件与频率测量装置相连接，智能控制模块通过数据采集处理单元分别与温度传感器、湿度传感器、压力传感器、频率测量装置相连接，智能控制模块分别与神经网络误差补偿单元、云通信模块相连接；所述声表面波器件包括YZ切铌酸锂的基底，基底上蒸镀一层ZnO保护层，ZnO保护层上蒸镀刻蚀有相互正交的两条声表面波延迟线，两条声表面波延迟线相交处设有一氧化碳敏感膜，一氧化碳敏感膜为掺杂有ZnO和An2O3的聚苯胺纳米敏感材料。本发明可实现对一氧化碳气体的常温下敏感、高精度测量和智能误差补偿，实现了声表面波一氧化碳气体传感器的云测试通信。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 正交 融合 结构 表面波 一氧化碳 气体 传感器 | ||
【主权项】：
一种正交融合结构声表面波一氧化碳气体传感器，包括声表面波器件和智能控制模块，其特征在于：所述声表面波器件与频率测量装置相连接，智能控制模块通过数据采集处理单元分别与温度传感器、湿度传感器、压力传感器、频率测量装置相连接，智能控制模块分别与神经网络误差补偿单元、云通信模块相连接；所述声表面波器件包括YZ切铌酸锂的基底，基底上蒸镀一层ZnO保护层，ZnO保护层上蒸镀、刻蚀有相互正交的两条声表面波延迟线，两条声表面波延迟线相交处的正方形区域设有一氧化碳敏感膜，一氧化碳敏感膜为掺杂有ZnO和An2O3的聚苯胺纳米敏感材料。
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