[发明专利]一种微透镜阵列模具和其制造方法有效
申请号: | 201610916596.9 | 申请日: | 2016-10-20 |
公开(公告)号: | CN106249323B | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 周天丰;许汝真;梁志强;焦黎;刘志兵;解丽静;颜培;王西彬 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | G02B3/00 | 分类号: | G02B3/00 |
代理公司: | 北京超成律师事务所 11646 | 代理人: | 栾波 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种微透镜阵列模具和其制造方法,包括:在硬质材料的基底模具上形成软质金属膜;利用机械加工工艺使所述软质金属膜上形成对应微透镜阵列的第一图案;以形成有所述第一图案的所述软质金属膜为掩膜板,利用构图工艺在所述基底模具上形成与所述第一图案相同的图案。本发明还公开相应的微透镜阵列模具。 | ||
搜索关键词: | 一种 透镜 阵列 模具 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种微透镜阵列模具的制造方法,其特征在于,包括:在硬质材料的基底模具上形成软质金属膜;利用机械加工工艺使所述软质金属膜上形成对应微透镜阵列的第一图案;以形成有所述第一图案的所述软质金属膜为掩膜板,利用构图工艺在所述基底模具上形成与所述第一图案相同的图案。
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