[发明专利]一种微加速度计及制造方法

摘要

本申请公开了一种微加速度计，其包括上盖板、质量块、下盖板、悬臂梁、围框。上盖板与下盖板相对设置形成一空间；围框的一端连接于上盖板的下表面，另一端连接于下盖板的上表面；质量块通过悬臂梁与围框相连，以设置于上盖板与下盖板形成的空间内；悬臂梁为弯曲形状，用于支撑质量块在上盖板与下盖板形成的空间内上下移动。本申请还公开了制备上述微加速度计的方法，包括流延、打孔与通孔填充、对准、层压、共烧、装配和检测步骤。本发明的LTCC差分电容式微加速度计，其悬臂梁采用弯曲形状，例如U形结构，制备简单，微加速度计测量结果漂移低，温度效应很小，灵敏度相对较高，检测模态刚度小，交叉耦合小，综合性能好。

主权项

一种微加速度计，其特征在于，包括上盖板、质量块、下盖板、悬臂梁和围框；所述上盖板与下盖板相对设置形成一空间；所述围框的一端连接于所述上盖板的下表面，另一端连接于所述下盖板的上表面，用于支撑所述上盖板与下盖板；所述质量块通过悬臂梁与所述围框相连，以设置于所述上盖板与下盖板形成的空间内；所述悬臂梁为弯曲形状，用于支撑所述质量块在所述上盖板与下盖板形成的空间内上下移动。