[发明专利]激光加工装置

摘要

提供一种激光加工装置。不增加激光光线的光束功率或路径数量而提高加工性。激光加工装置借助通过了水溶性保护膜(78)的激光光线而对板状工件(W)的上表面进行烧蚀加工，对板状工件的上表面照射激光光线的加工喷嘴(43)具有捕获因激光光线的照射而从板状工件的上表面飞散的碎片的碎片捕获腔室(61)，在该碎片捕获腔室的捕获空间(69)中使空气喷射口(66)与吸引口(67)对置而产生与激光光线的光路垂直的空气的气流，而使吸引口吸引碎片(D)。

主权项

一种激光加工装置，其使激光光线透过对卡盘工作台上所保持的板状工件的上表面进行保护的水溶性保护膜而照射至板状工件的上表面而进行烧蚀加工，其特征在于，该激光加工装置具有：聚光器，其对激光光线进行聚光；以及加工喷嘴，其使借助该聚光器而聚光的激光光线与板状工件的上表面垂直地照射，并将从板状工件飞散的碎片从板状工件的上表面去除，该加工喷嘴包含：激光通过口，其使借助该聚光器而聚光的激光光线通过并使该激光光线与板状工件的上表面垂直地照射；以及碎片去除单元，其将因通过了该激光通过口的激光光线的照射而从板状工件飞散的碎片去除，该碎片去除单元具有：碎片捕获腔室，其由上壁、侧壁以及下壁构成，在该上壁中配设该激光通过口，该侧壁从该上壁垂下，该下壁与该上壁对置并且具有捕获碎片的开口；吸引口，其将该碎片捕获腔室与吸引源连通；以及空气喷射口，其在与通过该激光通过口的激光光线的光路垂直的方向上在该激光通过口与该开口的范围中横穿并朝向该吸引口喷射空气，从该空气喷射口喷射空气，并从该吸引口对碎片进行吸引并去除。