[发明专利]一种基于碳纳米管的致动器的制备方法有效
| 申请号： | 201610890804.2 | 申请日： | 2016-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN107934909B | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 马赫;魏洋;刘锴;姜开利;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种致动器的制备方法，该方法包括以下步骤：提供一碳纳米管层；在所述碳纳米管层的表面设置一氧化钒层；以及在含氧气氛中退火使所述氧化钒层转变为二氧化钒层。本发明的致动器采用碳纳米管层与二氧化钒层复合结构。由于二氧化钒层相变时形变较大，响应速率快，因此该致动器具有较大的形变和较快的响应速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 纳米 致动器 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种致动器的制备方法，该方法包括以下步骤：提供一碳纳米管层；在所述碳纳米管层的表面设置一氧化钒层；以及在含氧气氛中退火使所述氧化钒层转变为二氧化钒层。
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