[发明专利]大口径环抛修正盘表面形状误差的检测方法有效
| 申请号： | 201610879774.5 | 申请日： | 2016-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN106225647B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 廖德锋;谢瑞清;陈贤华;赵世杰;王健;许乔 | 申请（专利权）人： | 成都精密光学工程研究中心 |
| 主分类号： | G01B5/20 | 分类号： | G01B5/20 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 蒲敏 |
| 地址： | 610041 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种环形抛光中大尺寸修正盘表面形状误差的检测方法。大口径环抛修正盘表面形状误差的检测方法，采用中间带有探针的直线度表桥沿修正盘半径方向分段检测各子段的直线度，然后通过数据处理获得整个半径方向的直线度。本发明针对大尺寸修正盘工作面朝下并且难以翻转的问题，根据修正盘表面形状呈中心对称分布的特点，采用直线度表桥分段检测修正盘沿半径方形的轮廓，然后通过数据处理生成修正盘整个径向的轮廓。本发明能够检测大型环抛机的大尺寸修正盘的表面形状误差，检测过程简单方便且精度较高，通过本发明方法获得修正盘的表面形状，可以推测沥青抛光盘的形状，从而调整环抛工艺参数以改善光学元件的面形精度。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 修正 表面 形状 误差 检测 方法 | ||
【主权项】：
大口径环抛修正盘表面形状误差的检测方法，其特征在于，采用中间带有探针(15)的直线度表桥(12)沿修正盘半径方向分段检测各子段的直线度，然后通过数据处理获得整个半径方向的直线度。
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