[发明专利]层间互连部件的可靠性评估方法有效
| 申请号： | 201610871107.2 | 申请日： | 2016-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN107885606B | 公开（公告）日： | 2020-12-01 |
| 发明（设计）人： | 甘正浩 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06F11/00 | 分类号： | G06F11/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘倜 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种层间互连部件的可靠性评估方法，涉及半导体器件测试领域。方法包括：提供测试半导体装置，所述半导体装置包括二端口电阻网络，获取在层间互连部件中没有待检测的缺陷的理想情况下，在N为不同值时，处于该理想情况下的所述二端口电阻网络的至少一个端口处的接入电阻和N的对应关系；在所述二端口电阻网络的所述至少一个端口处测量接入电阻；基于所述对应关系，确定与测量所得的接入电阻值对应的级。本发明的方法能够快速定位出现缺陷的层间互连部件的位置，有效减少检测时间和步骤，提高检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 互连 部件 可靠性 评估 方法 | ||
【主权项】：
一种层间互连部件的可靠性评估方法，其特征在于，包括：提供测试半导体装置，所述半导体装置包括二端口电阻网络，所述二端口电阻网络具有连接在第一端口和第二端口之间的级联的N个级，其中第i级包括第一至第四节点、连接在第一节点和第二节点之间的第一等效电阻(R0i1)，连接在第二节点和第三节点之间的跨接电阻(Ri)，连接在第三节点和第四节点之间的第二等效电阻(R0i2)，N是大于等于1的整数，i为大于等于1且小于N的整数，其中，第N级还具有第五节点和第六节点、连接在其第二节点和第五节点之间的第三等效电阻、和连接在其第三节点和第六节点之间的第四等效电阻，其中，各等效电阻由对应的层间互连部件的电阻主导，其中，第1级的第一节点和第四节点构成所述二端口电阻网络的第一端口，第i+1级的第一节点和第四节点分别连接到第i级的第二和第三节点，第N级的第五节点和第六节点构成所述二端口电阻网络的第二端口，获取在层间互连部件中没有待检测的缺陷的理想情况下，在N为不同值时，处于该理想情况下的所述二端口电阻网络的至少一个端口处的接入电阻(Ra_ideal、Rb_ideal)和N的对应关系；在所述二端口电阻网络的所述至少一个端口处测量接入电阻(Ra)；基于所述对应关系，确定与测量所得的接入电阻值对应的级。
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