[发明专利]层间互连部件的可靠性评估方法

权利要求书

1.一种层间互连部件的可靠性评估方法，其特征在于，包括：

提供测试半导体装置，所述半导体装置包括二端口电阻网络，所述二端口电阻网络具有连接在第一端口和第二端口之间的级联的N个级，其中第i级包括第一至第四节点、连接在第一节点和第二节点之间的第一等效电阻(R_0i1)，连接在第二节点和第三节点之间的跨接电阻(R_i)，连接在第三节点和第四节点之间的第二等效电阻(R_0i2)，N是大于等于1的整数，i为大于等于1且小于N的整数，

其中，第N级还具有第五节点和第六节点、连接在其第二节点和第五节点之间的第三等效电阻、和连接在其第三节点和第六节点之间的第四等效电阻，

其中，各等效电阻由对应的层间互连部件的电阻主导，

其中，第1级的第一节点和第四节点构成所述二端口电阻网络的第一端口，第i+1级的第一节点和第四节点分别连接到第i级的第二和第三节点，第N级的第五节点和第六节点构成所述二端口电阻网络的第二端口，

获取在层间互连部件中没有待检测的缺陷的理想情况下，在N为不同值时，处于该理想情况下的所述二端口电阻网络的至少一个端口处的接入电阻(R_{a_ideal}、R_{b_ideal})和N的对应关系；

在所述二端口电阻网络的所述至少一个端口处测量接入电阻(R_a)；

基于所述对应关系，确定与测量所得的接入电阻值对应的级。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述二端口电阻网络被实现为包括第一链路和第二链路，所述第一链路和第二链路各自包括串联连接的N个单元(U_i1、U_i2)，其中，第i级包括所述第一链路和第二链路各自的第i单元以及第i跨接电阻；

其中所述第一链路的第i单元(U_i1)包括串联地连接在对应的第i级的第一节点和第二节点之间的作为第一子单元的导电的第一层的一部分、作为第二子单元的导电的第二层的一部分、作为第三子单元的接合所述第一子单元与所述第二子单元的层间互连部件，

其中所述第二链路的第i单元(U_i2)包括连接在对应的第i级的第三节点和第四节点之间的作为第一子单元的所述第一层的一部分、作为第二子单元的所述第二层的一部分、作为第三子单元的接合所述第一子单元与所述第二子单元的层间互连部件。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，

第i级的第一等效电阻(R_0i1)至少包括所述第一链路的第i单元的层间互连部件的电阻；

第i级的第二等效电阻(R_0i2)至少包括所述第二链路的第i单元的互连部件的电阻。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述二端口电阻网络被实现为包括第一链路和第二链路，所述第一链路和第二链路各自包括串联连接的N个单元(U_i1、U_i2)，其中，第i级包括所述第一链路和第二链路各自的第i单元以及第i跨接电阻；

所述第一链路的第i单元(U_i1)包括与对应的第i级的第一节点接合的作为第一子单元的导电的第一层的一部分、作为第二子单元的导电的第二层的一部分、与对应的第二节点接合的作为第三子单元的所述第一层的一部分、作为第四子单元的接合所述第一子单元与所述第二子单元的层间互连部件、作为第五子单元的接合所述第二子单元与所述第三子单元的层间互连部件；

所述第二链路的第i单元(U_i2)包括与对应的第i级的第四节点接合的作为第一子单元的导电的第一层的一部分、作为第二子单元的导电的第二层的一部分、与对应的第三节点接合的作为第三子单元的所述第一层的一部分、作为第四子单元的接合所述第一子单元与所述第二子单元的层间互连部件、作为第五子单元的接合所述第二子单元与所述第三子单元的层间互连部件。