[发明专利]光照射装置有效
| 申请号： | 201610867790.2 | 申请日： | 2016-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN107102480B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 木村淳治 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337;G01J1/42 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 胡建新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光照射装置，在具有对由光源的劣化等引起的照度降低进行监视的功能时，在机构不变得复杂，且不对生产率产生影响。在上侧保持对象物(W)的工作台(2)，通过搬运机构(3)在X方向上移动，在通过有效照射区域时工件(W)接受光照射。在工作台(2)的侧面(21)上安装有照度计，与工作台(2)一体地移动而通过有效照射区域。照度计(6)的测定值向控制器(7)输送，控制器(7)所具备的光量计算单元(71)对光量进行计算而存储于存储部(72)。 | ||
| 搜索关键词： | 照射 装置 | ||
【主权项】：
一种光照射装置，具备：光照射器，向照射区域照射光；工作台，在上侧保持对象物；以及搬运机构，沿着以通过照射区域的状态设定的搬运路使工作台移动而搬运对象物，其特征在于，在工作台的侧面，安装有对来自光照射器的光的照度进行测定的照度计。
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