[发明专利]一种精密运动平台及其运动末端定位模组

摘要

本发明公开了一种运动末端定位模组，包括：壳体、电机和位于壳体内的顶板，顶板和输出轴连接，壳体内设有第一压电陶瓷驱动器和第一弹簧，第一压电陶瓷驱动器的两端分别连接于壳体的内壁和顶板的一面，弹簧的一端连接于和第一压电陶瓷驱动器的一端连接于壳体的内壁相对的内壁，弹簧的另一端连接于顶板的另一面，壳体内还设有第二压电陶瓷驱动器和第二弹簧，第二压电陶瓷驱动器和第一弹簧位于顶板的同侧，第二弹簧和第一压电陶瓷驱动器位于顶板的另一侧。通过利用第一压电陶瓷驱动器和第二压电陶瓷驱动器进行主动的减振，使得微运动更加稳定，且可以进行快速的定位。本发明还公开了一种包括上述运动末端定位模组的精密运动平台。

主权项

1.一种运动末端定位模组，其特征在于，包括：壳体、电机和位于所述壳体内的顶板，所述电机的输出轴贯穿所述壳体的侧壁，所述顶板和所述电机的输出轴固定连接，所述壳体内设有第一压电陶瓷驱动器和第一弹簧，所述第一压电陶瓷驱动器的两端分别连接于所述壳体的内壁和所述顶板的一面，所述弹簧的一端连接于和所述压电陶瓷驱动器的一端连接于所述壳体的内壁相对的内壁，所述弹簧的另一端连接于所述顶板的另一面，所述壳体内还设有第二压电陶瓷驱动器和第二弹簧，所述第二压电陶瓷驱动器和所述第一弹簧位于所述顶板的同侧，所述第二弹簧和所述第一压电陶瓷驱动器位于所述顶板的另一侧，所述第二压电陶瓷驱动器的两端分别连接于和所述第一弹簧连接于所述顶板相同的一面和所述壳体上相同的内壁，所述第二弹簧的两端分别连接于和所述第一压电陶瓷驱动器连接于所述顶板相同的一面和所述壳体上相同的内壁。