[发明专利]一种基于Ce5Sn3/Sn3O4三维分等级结构的甲醛气体传感器及其制备方法

摘要

一种基于Ce₅Sn₃/Sn₃O₄三维分等级结构的甲醛气体传感器及其制备方法，属于气体传感器技术领域。传感器从下至上依次由Al₂O₃衬底、Pd金属叉指电极、在Pd金属叉指电极上采用涂覆技术制备的Ce₅Sn₃/Sn₃O₄三维分等级结构敏感层组成；Ce₅Sn₃/Sn₃O₄三维分等级结构是一种由厚度为70nm～100nm的二维纳米片自组装而成的三维分等级结构，二维纳米片为掺杂了Ce₅Sn₃的Sn₃O₄材料，锡和铈的原子质量比为100：0.5～2。本发明制备的一种基于Ce₅Sn₃/Sn₃O₄三维分等级结构的甲醛气体传感器具有制备方法简单、成本低廉、响应恢复速度快、有望大规模生产的特点，对甲醛气体具有良好的检测性能。

主权项

1.一种基于Ce5Sn3/Sn3O4三维分等级结构的甲醛气体传感器，其特征在于：从下至上依次由Al2O3衬底、Pd金属叉指电极、在Pd金属叉指电极上采用涂覆技术制备的Ce5Sn3/Sn3O4三维分等级结构敏感层组成；Ce5Sn3/Sn3O4三维分等级结构是一种由厚度为70nm～100nm的二维纳米片自组装而成的三维分等级结构，二维纳米片为掺杂了Ce5Sn3的Sn3O4材料，锡和铈的原子质量比为100：0.5～2。