[发明专利]一种金属化薄膜加工用防浮起真空镀膜机有效
申请号: | 201610840617.3 | 申请日: | 2016-09-22 |
公开(公告)号: | CN106435514B | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 高文明 | 申请(专利权)人: | 铜陵市铜创电子科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/14;C23C14/24 |
代理公司: | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人: | 王学勇 |
地址: | 244000 安徽省铜陵市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开一种金属化薄膜加工用防浮起真空镀膜机,包括真空室以及设置在所述真空室中的喂入机构、镀膜机构、卷绕机构。喂入机构包括第一升降机构、喂入装置;在喂入机构与镀膜机构之间、镀膜机构与卷绕机构之间均设置有薄膜限位装置;卷绕机构包括第五升降机构、卷绕装置;第五升降机构的伸缩端与卷绕装置配合用以带动卷绕装置上下运动。本发明具有的自动化程度高、补料/收料方便、及时、预热均匀、预热量可调、适用多种型号膜的加工、镀膜厚度可调的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属化 薄膜 工用 浮起 真空镀膜 | ||
【主权项】:
1.一种金属化薄膜加工用防浮起真空镀膜机,包括真空室以及设置在所述真空室中的喂入机构、镀膜机构、卷绕机构;所述喂入机构、镀膜机构、卷绕机构按照工艺流程从前至后依次设置;其特征在于:所述喂入机构包括第一升降机构、喂入装置;所述第一升降机构的伸缩端与所述喂入装置配合用以带动所述喂入装置上下运动;所述卷绕机构包括第五升降机构、卷绕装置;所述第五升降机构的伸缩端与卷绕装置配合用以带动所述卷绕装置上下运动;在所述喂入机构与镀膜机构之间、所述镀膜机构与卷绕机构之间均设置有薄膜限位装置;所述薄膜限位装置包括上薄膜限位组件以及下薄膜限位组件;所述上薄膜限位组件位于绝缘薄膜的上方,所述下薄膜限位组件位于薄膜的下方;所述上薄膜限位组件、下薄膜限位组件相向运动用以对薄膜进行限位。
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