[发明专利]一种金属化薄膜加工用镀膜机构有效
申请号: | 201610840616.9 | 申请日: | 2016-09-22 |
公开(公告)号: | CN106244985B | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 高文明 | 申请(专利权)人: | 铜陵市铜创电子科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/56 |
代理公司: | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人: | 王学勇 |
地址: | 244000 安徽省铜陵市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开一种金属化薄膜加工用镀膜机构,第一蒸发镀膜装置、第二蒸发镀膜装置按照工艺流程由前至后依次设置;镀膜机构包括第一蒸发镀膜装置,包括第一蒸镀鼓、第一蒸发舟;所述第一蒸发舟设置在所述第一蒸镀鼓的下方;所述第一蒸发舟的顶部开口区域设置有调节所述第一蒸发舟开口大小的第一活动板组件;第二蒸发镀膜装置,包括第二蒸镀鼓、第二蒸发舟、屏蔽装置;第二蒸发舟设置在第二蒸镀鼓的下方;第二蒸发舟的顶部开口区域设置有调节第二蒸发舟开口大小的第二活动板组件;屏蔽装置用以限定从第二蒸发舟的开口处蒸发出的金属落在绝缘薄膜上的宽度、区域。本发明具有适用多种型号膜的加工、镀膜厚度可调的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 金属化 薄膜 工用 镀膜 机构 | ||
【主权项】:
1.一种金属化薄膜加工用镀膜机构,包括第一蒸发镀膜装置、第二蒸发镀膜装置,所述第一蒸发镀膜装置、第二蒸发镀膜装置按照工艺流程由前至后依次设置;其特征在于:所述镀膜机构包括第一蒸发镀膜装置,包括第一蒸镀鼓、第一蒸发舟;所述第一蒸发舟设置在所述第一蒸镀鼓的下方;所述第一蒸发舟的顶部开口区域设置有调节所述第一蒸发舟开口大小的第一活动板组件;所述第二蒸发镀膜装置,包括第二蒸镀鼓、第二蒸发舟、屏蔽装置;所述第二蒸发舟设置在所述第二蒸镀鼓的下方;所述第二蒸发舟的顶部开口区域设置有调节所述第二蒸发舟开口大小的第二活动板组件;所述屏蔽装置用以限定从所述第二蒸发舟的开口处蒸发出的金属落在绝缘薄膜上的宽度、区域。
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