[发明专利]靶面杂光光照度测量装置及测量方法有效
申请号: | 201610834633.1 | 申请日: | 2016-09-20 |
公开(公告)号: | CN107843335B | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 郭帮辉 | 申请(专利权)人: | 海信集团有限公司 |
主分类号: | G01J1/00 | 分类号: | G01J1/00;G01J1/04 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 邢雪红;乔彬 |
地址: | 266071 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明提供了一种靶面杂光光照度测量装置及测量方法。靶面杂光光照度测量装置包括漫反射板、投影镜头、测量仪及控制器。漫反射板包括框型的基板及漫反射层,基板用于覆盖光阀靶面的非作用区,漫反射层设于基板上。漫反射层的反射特性满足余弦辐射体的要求,投射在漫反射板的杂光经漫反射层漫反射成反射光束。反射光束经投影镜头投影形成成像区。测量仪用于测量非作用区的杂光投影到成像区上的光照度。控制器根据成像区的面积及光照度,计算得到靶面杂光光照度。通过上述靶面杂光光照度测量装置及测量方法能够实现对DMD等光阀进行靶面杂光光照度的测量。 | ||
搜索关键词: | 杂光 靶面 光照度测量 漫反射层 光照度 测量 漫反射板 成像区 基板 反射光束 控制器 测量仪 非作用 光阀 投影镜头投影 余弦辐射体 反射特性 投影镜头 漫反射 框型 投射 投影 覆盖 | ||
【主权项】:
1.一种靶面杂光光照度测量装置,其特征在于,包括:漫反射板,包括框型的基板及漫反射层,所述基板用于覆盖光阀靶面的非作用区,所述漫反射层设于所述基板上,所述漫反射层的反射特性满足余弦辐射体的要求,照射在所述漫反射板的杂光经所述漫反射层漫反射成反射光束;投影镜头,设于所述漫反射板背向所述光阀的一侧,所述投影镜头的视场能够覆盖所述光阀的靶面,所述反射光束经所述投影镜头投影形成成像区;测量仪,设于所述投影镜头背向所述漫反射板的一侧,且用于测量所述非作用区的杂光投影到成像区上的光照度;控制器,根据所述成像区的面积及光照度,根据:
计算得到靶面杂光光照度,其中,EA2是光阀的靶面杂光光照度;SA2是漫反射层的面积;EB2是成像区的光照度;SB2是成像区的面积;ρ是漫反射层的反射率;τ是投影镜头的透过率;U是投影镜头的物方半孔径角。
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