[发明专利]一种微型宽光谱光谱仪

摘要

本发明实施例公开了一种微型宽光谱光谱仪，其包括光源、多个可调谐声光滤光器、第一MEMS微镜组件、第一反射镜组件、第二反射镜组件和第二MEMS微镜组件。光源发出的工作光线经第一MEMS微镜组件、第一反射镜组件反射后依次进入多个可调谐声光滤光器，经可调谐声光滤光器滤光后的工作光线经第二反射镜组件和第二MEMS微镜组件反射后入射到待检测物质。

主权项

一种微型宽光谱光谱仪，其特征在于，包括：光源，第一可调谐声光滤光器、第二可调谐声光滤光器、光电探测器以及：第一MEMS微镜组件，所述第一MEMS微镜组件能够相对于光源发出的工作光线的光路旋转到第一角度和第二角度；第一反射镜组件，所述第一反射镜组件相对于所述光路成第三角度和第四角度；第二反射镜组件，所述第二反射镜组件相对于所述光路成第五角度和第六角度；第二MEMS微镜组件，所述第二MEMS微镜组件能够相对于所述光路旋转到第七角度和第八角度；其中：当所述第一MEMS微镜组件处于所述第一角度、所述第一反射镜组件处于所述第三角度、所述第二反射镜组件处于所述第五角度以及所述第二MEMS微镜组件处于所述第七角度时，所述光源发出的工作光线被所述第一MEMS微镜组件和所述第一反射镜组件的反射后入射到所述第一可调谐声光滤光器，并且从所述第一可调谐声光滤光器射出后被所述第二反射镜组件和所述第二MEMS微镜组件反射后入射到待检测物质；当所述第一MEMS微镜组件处于所述第二角度、所述第一反射镜组件处于所述第四角度、所述第二反射镜组件处于所述第六角度以及所述第二MEMS微镜组件处于所述第八角度时，所述光源发出的工作光线被所述第一MEMS微镜组件和所述第一反射镜组件的反射后入射到所述第二可调谐声光滤光器，并且从所述第二可调谐声光滤光器射出后被所述第二反射镜组件和所述第二MEMS微镜组件反射后入射到所述待检测物质；其中所述光电探测器检测经过所述待检测物质后的工作光线；其中所述第一可调谐声光滤光器的调谐范围与所述第二可调谐声光滤光器的调谐范围至少部分不同。