[发明专利]石英玻璃的制备方法及石英玻璃

摘要

本发明是关于一种石英玻璃的制备方法及石英玻璃，涉及石英玻璃制造技术领域，主要目的在于提高石英玻璃成品在在氢氟酸和氟气F₂等含氟环境下的耐腐蚀性。方法包括：通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶解混合形成掺杂混合溶液，第一掺杂化合物为含铝化合物，第二掺杂化合物包括含Zr化合物、含Y化合物、含La化合物、含Sc化合物、含Th化合物、含V化合物、含Ti化合物中至少一种；将二氧化硅疏松体在掺杂混合溶液中浸泡，经过烧制为石英玻璃成品。成品包含烧制转化Al₂O₃、经烧制转化ZrO₂、Y₂O₃、La₂O₃、Sc₂O₃、ThO₂、V₂O₅、TiO₂中的至少一种。Al₂O₃、ZrO₂、Y₂O₃、La₂O₃、Sc₂O₃、ThO₂、V₂O₅、TiO₂以网络中间体或网络外体形式填充在SiO₂四面体网络结构的孔隙中，石英玻璃抗酸性腐蚀。

主权项

1.一种石英玻璃的制备方法，其特征在于，包括：通过溶解剂将第一掺杂化合物、第二掺杂化合物溶解混合形成掺杂混合溶液，所述第一掺杂化合物为含铝化合物，所述第二掺杂化合物包括含Zr化合物、含Y化合物、含Sc化合物、含Th化合物、含V化合物、含Ti化合物中的至少一种；由含硅原料在500～1200℃的燃烧火焰中，反应生成二氧化硅颗粒，使所述二氧化硅颗粒沉积形成二氧化硅疏松体，所述二氧化硅疏松体中具有气孔；将所述二氧化硅疏松体在所述掺杂混合溶液中浸泡，获得浸泡后的二氧化硅疏松体；将所述浸泡后的二氧化硅疏松体经过烧制工艺烧制为石英玻璃成品，其中，所述石英玻璃成品中包含有经所述掺杂混合溶液中的第一部分烧制转化而成的Al₂O₃、经所述掺杂混合溶液中的第二部分烧制转化而成的ZrO₂、Y₂O₃、Sc₂O₃、ThO₂、V₂O₅、TiO₂中的至少一种，所述Al₂O₃与所述石英玻璃成品中SiO₂的重量比在0.5～10％，ZrO₂、Y₂O₃、Sc₂O₃、ThO₂、V₂O₅、TiO₂中的至少一种与所述石英玻璃成品中SiO₂的重量比在0.5～5％。