[发明专利]一种彩膜预烘装置及彩膜的预烘方法

摘要

本申请提出了一种彩膜预烘装置及彩膜的预烘方法，VCD单元、HP/CP单元中之间进行传送的过程中基板不接触传送组件。本发明的目的是为了改善彩色滤光片预烘过程中由于玻璃支撑销直接支撑基板而导致彩膜上玻璃支撑销缺陷的现象。一种彩膜预烘装置包括彩膜涂胶机单元、热风循环干燥单元、热风循环预烘单元、热风循环冷却单元和机械传输装置；风循环干燥单元、热风循环预烘单元和热风循环冷却单元加热方式为循环热风加热，机械传输装置支撑基板的方式为超声振动组件支撑。本发明避免VCD单元、HP单元和CP单元中过程中玻璃支撑销的位置玻璃支撑销顶起地方形成支撑销缺陷，在传送的过程中基板不接触传送组件，降低破片风险。

主权项

一种彩膜预烘装置，所述装置包括依次设置的彩膜涂胶机单元、热风循环干燥单元、热风循环预烘单元和热风循环冷却单元；彩膜涂胶机单元、热风循环干燥单元、热风循环预烘单元和热风循环冷却单元之间设置有机械传输装置以实现对玻璃基板的传送从而完成彩膜的预烘，其特征在于，机械传输装置上设置有超声振动组件，由超声振动组件产生的振动把被预烘或被干燥的玻璃基板托起于机械传输装置上，处于超声波悬浮状态；所述热风循环干燥单元、热风循环预烘单元和热风循环冷却单元中的加热方式为循环热风加热。