[发明专利]一种微纳跨尺度高分辨力紫外压印光刻机

摘要

本发明涉及一种微纳跨尺度高分辨力紫外压印光刻机，属于光学微纳加工制造领域。所述紫外压印光刻机包括紫外照明系统(11)，压印模块机构(12)，XYZ三轴运动工件台系统(13)和电气控制系统(14)，能够实现从微米图形到纳米图形的跨尺度加工，该设备充分利用气压各项同性的特性，采用“紫外固化+气压作用”实现微纳图形的精准转移，可以保证大面积微纳图形复制的均匀性，再结合该设备的光刻功能，从而可以实现从微米到纳米图形的跨尺度加工。

主权项

一种微纳跨尺度高分辨力紫外压印光刻机，其特征在于：包括紫外照明系统(11)，压印模块机构(12)，XYZ三轴运动工件台系统(13)和电气控制系统(14)；紫外照明系统(11)，用于提供汞灯光源和平行光照明，紫外照明系统选取的是波段为365nm的紫外光，采用的照明方式为科勒照明，紫外照明系统整体均匀性保证在2％左右；压印模块机构(12)，用于掩模版的切换安装，压印模块机构由掩模架机构和承片台机构两部分组成，其具备兼容性，既能加载接近式光刻的掩模版，又能加载紫外固化纳米压印的掩模；XYZ三轴运动工件台系统(13)，用于工件台的高精度运动及定位，XYZ三轴运动工件台系统中，XY向的运动是通过调节手轮进行手动调节，Z向的运动是通过步进电机进行调节；电气控制系统(14)，用于控制电源开关、工件台运动以及触控面板操作，电气控制系统还用于实现控制曝光时间、抽真空、加压和电机走位功能。