[发明专利]一种用于多晶硅铸锭工艺的晶体炉

摘要

本发明公开了一种用于多晶硅铸锭工艺的晶体炉，包括炉体、石英坩埚及定向凝固装置；其中，所述炉体包括上炉盖，上炉盖处设有输气管及抽气管，炉体底部设有升降柱，炉体侧面设有出气管；所述定向凝固装置包括石墨加热器、隔热笼及水冷装置；石墨加热器包括若干石墨加热板及上部石墨环；石墨加热板设置于石英坩埚四周，且从上往下依次层叠，形成多层加热模式；上部石墨环设置于石英坩埚上方；隔热笼为一个由若干保温板围成的腔室，设置于石英坩埚及石墨加热器外围；所述水冷装置设置于石英坩埚下方。本发明能够加强热场的控制及氩气的流通，提高生产效率，减少晶体内杂质含量，有效利用炉内空间，节约成本，且操作简单，节能省时。

主权项

一种用于多晶硅铸锭工艺的晶体炉，其特征在于，包括炉体(1‑1)、石英坩埚(1‑7)及定向凝固装置；其中，所述炉体(1‑1)包括上炉盖(1‑2)，所述上炉盖(1‑2)处设有输气管(1‑3)及抽气管(1‑4)，炉体(1‑1)底部设有升降柱(1‑5)，炉体(1‑1)侧面设有出气管(1‑6)；所述石英坩埚(1‑7)包括敞口的坩埚本体；所述定向凝固装置包括石墨加热器、隔热笼及水冷装置(1‑11)；其中，所述石墨加热器包括若干石墨加热板(1‑8)及上部石墨环(1‑9)；所述石墨加热板(1‑8)设置于石英坩埚(1‑7)四周，且从上往下依次层叠，形成多层加热模式；所述上部石墨环(1‑9)设置于石英坩埚(1‑7)上方；所述隔热笼为一个由若干保温板(1‑10)围成的腔室，设置于石英坩埚(1‑7)及石墨加热器外围；所述水冷装置(1‑11)设置于石英坩埚(1‑7)下方；所述输气管(1‑3)由外部穿过上炉盖(1‑2)、隔热笼并延伸至石英坩埚(1‑7)开口处；所述抽气管(1‑4)由外部穿过上炉盖(1‑2)并延伸至隔热笼内，出气管(1‑6)由外部穿过炉体(1‑1)并延伸至隔热笼内；所述升降柱(1‑5)穿过水冷装置(1‑11)并与石英坩埚(1‑7)底部定位接触。