[发明专利]一种基于FPGA的晶圆检测信号提取装置及系统有效
| 申请号： | 201610765497.5 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN106226324B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;马砚忠;刘虹遥;张朝前;杨乐;路鑫超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶圆检测技术领域，特别涉及一种基于FPGA的晶圆检测信号提取装置，包括：信号采集单元，采集晶圆检测模拟信号，以及将晶圆检测模拟信号转换为数字信号；数据抽取单元，按照时序将数字信号中的数据存入缓冲区；处理单元，取用缓冲区的数据，以及对缓冲区的数据进行时域处理及频域处理；判断单元，查找时域信号及频域信号，将时域信号及频域信号合并判断后上传至上位机。本发明实施例提供的晶圆检测信号提取装置及系统，提高了晶圆检测装置检测的模拟信号的提取效率，对提取的晶圆信号中的数据处理更为稳定、准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 fpga 检测 信号 提取 装置 系统 | ||
【主权项】：
1.一种基于FPGA的晶圆检测信号提取装置，其特征在于，包括：信号采集单元，采集晶圆检测模拟信号，以及将所述晶圆检测模拟信号转换为数字信号；数据抽取单元，按照时序将所述数字信号中的数据存入缓冲区；处理单元，取用所述缓冲区的所述数据，以及对所述缓冲区的所述数据进行时域处理及频域处理；判断单元，查找时域信号及频域信号，将所述时域信号及所述频域信号合并判断后上传至上位机；其中，所述数据抽取单元包括：时序数据抽取模块，按照时序将所述数字信号中的数据抽取为至少两个长度片段；存储模块，将不同的片段分别存储于不同的数据组中，标记每个数据组的窗口号，以及将数据组存储于缓冲区；窗口设置模块，设置与数据组对应数量的窗口；在窗口内存储片段的循环参数；数据组内的片段通过窗口查找表查找对应的窗口，并获得对应的片段的循环参数；所述循环参数为时域处理和频域处理所需的参数。
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