[发明专利]一种应用于ICP光谱仪的双向观测光路结构

摘要

一种应用于ICP光谱仪的双向观测光路结构，属于光谱仪光学系统技术领域。包括ICP光源、第一90°折转凹面反射镜、第二90°折转凹面反射镜、观测方式切换用平面反射镜、前置准直反射镜、前置聚焦反射镜、入射狭缝、准直镜、棱镜、中阶梯光栅、聚焦镜、面阵CCD探测器。优点在于，实现了低成本的垂直炬管双向观测方式。

主权项

一种应用于ICP光谱仪的双向观测光路结构，其特征在于，包括：ICP光源、第一90°折转凹面反射镜、第二90°折转凹面反射镜、观测方式切换用平面反射镜、前置准直反射镜、前置聚焦反射镜、入射狭缝、准直镜、棱镜、中阶梯光栅、聚焦镜、面阵CCD探测器；凹面反射镜(2)位于光源(1)正上方，凹面反射镜(3)与反射镜(2)置于同一水平高度，第一90°折转凹面反射镜(2)、第二90°折转凹面反射镜(3)用来实现光线两次90°折转，平面反射镜(4)位于第二90°折转凹面反射镜(3)正下方且与光源(1)的径向观测高度等高，在光源(1)与平面反射镜(4)构成的光轴方向上安装前置准直反射镜(5)，在前置准直反射镜(5)的反射方向上安装前置聚焦反射镜(6)，聚焦位置处安装入射狭缝(7)，准直镜(8)位于前置聚焦反射镜(6)与入射狭缝(7)构成的光轴方向上，在离轴反射方向上依次放置棱镜(9)与中阶梯光栅(10)，保持中阶梯光栅(10)的入射角与闪耀角一致，聚焦镜(11)位于中阶梯光栅(10)的离轴反射方向，并在聚焦镜(11)离轴反射方向安装面阵CCD探测器(12)；平面反射镜(4)通过电机及其机构驱动在垂直光路的方向水平移动，实现观测方式自动切换；样品经光源(1)激发出元素特征谱线的光，依次经第一90°折转凹面反射镜(2)、第二90°折转凹面反射镜(3)折转、平面反射镜(4)实现观测方式选择、前置准直反射镜(5)准直、前置聚焦反射镜(6)聚焦到入射狭缝(7)，并由棱镜(9)与中阶梯光栅(10)实现交叉色散，配合准直镜(8)和聚焦镜(11)的准直、聚焦作用，最终在面阵CCD探测器(12)上得到二维光谱图像。